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중국 AMEC, 첨단 패키징용 플라즈마 절단장비 첫 출하

2026.11.11
중국 AMEC, 첨단 패키징용 플라즈마 절단장비 첫 출하
반도체소재장비

중국 AMEC, 첨단 패키징용 플라즈마 절단장비 첫 출하

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00:16 발행
  • 중국 반도체 장비 제조사 AMEC가 신규 플라즈마 웨이퍼 절단 장비 '프리모 매트릭스'를 출시하고 첫 장비를 주요 고객사에 출하했습니다.
  • 프리모 매트릭스는 기존 플라즈마 심층 실리콘 식각 기술을 기반으로 이중 반응기 구조를 적용해 생산성과 정밀도를 높인 첨단 패키징용 장비입니다.
  • 해당 장비는 200㎜와 300㎜ 웨이퍼를 지원하며 두께 25~700㎛ 범위에서 가공해 다양한 첨단 패키징 공정에 대응합니다.
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